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| 연구자 프로필 |  |
| 연구자 명 | 유신재 |
| 직책 | 조교수 |
| 이메일 | - |
| 재직 상태 | 재직 중 |
| 부서 학과 | 물리학과 |
| 사무실 번호 | 0428216539 |
| 연구실 | 응용플라즈마물리실험실 |
| 연구실 홈페이지 | http://apple.cnu.ac.kr/ |
| 홈페이지 | - |
| 소속 | 충남대학교 |
| 회사명 | 충남대학교 |
| 재직기간 | 재직 중 |
| 담당업무 | 2014 - 현재 : 충남대학교 물리학과 조교수 - 부교수 |
| 회사명 | 한국표준과학연구원 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2007 - 2014 : 한국표준과학연구원 선임연구원(우대연구원 2013~) |
| 회사명 | 포항공대 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2006 - 2007 :포항공대 전자전기공학과 포스닥 |
| 회사명 | 카이스트 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2005 - 2006 : 카이스트 물리학과 포스닥 |
| 연구 1 | 고성능 플라즈마 발생 및 제어 기술 |
| 내용 | 본 연구실은 다양한 산업 응용을 위한 고성능 플라즈마 발생 및 제어 기술 개발에 중점을 둡니다. 특히, 반도체 제조 공정, 표면 처리, 환경 정화 등 첨단 분야에 필수적인 저온 플라즈마 생성 효율을 극대화하고 안정성을 확보하는 연구를 수행합니다. 유도결합 플라즈마(ICP) 및 용량 결합성 플라즈마(CCP) 시스템의 최적화, RF 전력 공급 및 안테나 시스템 설계를 통해 이온 에너지 및 플라즈마 밀도를 독립적으로 제어하는 혁신적인 기술을 개발하고 있습니다. 이를 통해 고정밀 식각 및 증착 공정에서 요구되는 균일한 플라즈마 환경을 구현하며, 공정 효율성 증대와 수율 향상에 기여합니다. 최신 플라즈마 발생 장치의 설계 및 운용에 대한 깊이 있는 이해를 바탕으로, 산업 현장의 요구에 맞는 맞춤형 플라즈마 솔루션을 제공하는 것이 본 연구의 목표입니다. |
| 연구 2 | 실시간 플라즈마 공정 진단 및 스마트 모니터링 |
| 내용 | 본 연구 분야는 플라즈마 공정의 효율성과 신뢰성을 극대화하기 위한 실시간 진단 및 스마트 모니터링 시스템 개발에 집중합니다. V-I 센서 기반의 플라즈마 변수 고정밀 모니터링 기술, 비침습형 플라즈마 공정 진단 방법, 그리고 초고주파 교차 주파수 플라즈마 진단 기술을 통해 플라즈마 상태를 정밀하게 분석합니다. 특히, 반도체 공정에서 발생하는 치명적인 아킹(Arcing) 현상을 실시간으로 예보하고 모니터링하는 시스템을 개발하여 공정 안정성을 획기적으로 개선합니다. 이러한 진단 기술은 플라즈마 공정 이상 감지 및 예측을 가능하게 하여 불량률을 최소화하고 생산성을 높이는 데 기여합니다. 또한, Virtual Metrology 개발을 통해 실제 공정 없이도 플라즈마 변수를 예측하고 최적화할 수 있는 솔루션을 제공하여, 첨단 제조 공정의 스마트화를 선도합니다. |
| 연구 3 | 차세대 반도체 플라즈마 식각 공정 최적화 및 전산모사 |
| 내용 | 연구실은 3D NAND 및 차세대 반도체 제조에 필수적인 극고종횡비 식각 공정의 한계를 극복하기 위한 연구를 수행합니다. 원자층 식각(ALE) 방법을 비롯하여, 고주파 펄스 소스 및 저주파 펄스 바이어스를 이용한 정밀 식각 기술을 개발하여 마스크 임계 차원(CD) 유지 및 식각 선택비 향상에 기여합니다. 특히 낮은 GWP(지구 온난화 지수)를 갖는 대체 PFC/HFC 가스를 활용한 친환경 식각 공정 개발에 주력하며, 이를 위한 공정 모니터링 및 분석 기술을 연구합니다. 또한, 플라즈마 공정 장비의 전산모사(Simulation) 기술을 고도화하여 10nm 이하 반도체 공정의 미세 패턴 구현을 위한 최적의 공정 조건을 예측하고 설계합니다. 이러한 통합적인 접근을 통해 반도체 산업의 기술 난제를 해결하고, 지속 가능한 제조 혁신을 위한 핵심 기술을 제공합니다. |
| 학력 사항 | 학사 : 충남대학교 물리학과 석사 : 카이스트 물리학과 박사 : 카이스트 물리학과 |
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