유신재
유신재
소속
충남대학교 (물리학과)
AI요약
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기본 정보
| 연구자 프로필 |  |
| 연구자 명 | 유신재 |
| 직책 | 조교수 |
| 이메일 | - |
| 재직 상태 | 재직 중 |
| 소속 | 충남대학교 |
| 부서 학과 | 물리학과 |
| 사무실 번호 | 0428216539 |
| 연구실 | 응용플라즈마물리실험실 |
| 연구실 홈페이지 | http://apple.cnu.ac.kr/ |
| 홈페이지 | - |
경력정보
| 회사명 | 충남대학교 |
| 재직기간 | 재직 중 |
| 담당업무 | 2014 - 현재 : 충남대학교 물리학과 조교수 - 부교수 |
| 회사명 | 한국표준과학연구원 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2007 - 2014 : 한국표준과학연구원 선임연구원(우대연구원 2013~) |
| 회사명 | 포항공대 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2006 - 2007 :포항공대 전자전기공학과 포스닥 |
| 회사명 | 카이스트 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2005 - 2006 : 카이스트 물리학과 포스닥 |
중요 키워드
#물리학과#연구#교수#유신재#충남대학교
주요 연구 내용
| 연구 내용 | [연구 분야] 핵심 분야: 응용 플라즈마 물리, 플라즈마 진단 및 제어 세부 분야: 플라즈마 전자/이온 운동, 진단 센서 개발, 초고진공 저밀도 플라즈마, 플라즈마 기반 공정 시뮬레이션, 나노입자 합성, FDC(Fault Detection and Classification) [대표 연구 내용] 유신재 교수는 저/고압 플라즈마 내 전자 및 이온의 운동 특성 규명을 중심으로 한 기초-응용 융합 플라즈마 연구를 주도하고 있습니다. Cut-off probe, Langmuir probe, LIF, Thomson scattering 등 첨단 진단 기술을 활용한 플라즈마 파라미터 측정 및 해석을 통해, 정밀한 플라즈마 공정 제어 기술을 개발하고 있습니다. 또한 PIC, MCC-IED, CFD 등의 수치 시뮬레이션 기법과 실험적 접근을 병행하여 대면적·고밀도·초저밀도 플라즈마 소스 개발, 나노입자 부유 및 합성, 반도체 식각 및 박막 증착(ALE, PECVD) 등의 산업 응용에도 기여하고 있습니다. FDC(Fault Detection and Classification) 및 다양한 플라즈마 센서(VIP, MOLE probe 등)의 개발과 최적화도 수행하며, 고신뢰성 반도체 공정 기술 확보를 위한 다학제적 연구를 지속하고 있습니다. |
학력
| 학력 사항 | 학사 : 충남대학교 물리학과 석사 : 카이스트 물리학과 박사 : 카이스트 물리학과 |
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